MEMS单轴陀螺仪芯片

MEMS单轴陀螺仪芯片利用作用在旋转物体上的科里奥利力。高Q值和相对灵敏度的压电单晶通过采用，虽然体积小，但在振动型中实现了最高的输入/输出灵敏度比。